椭圆偏振光谱仪

HORIBA Auto SE椭圆偏振光谱仪是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。它是用于快速薄膜测量和器件质量控制的解决方案。专为薄膜测量设计，一键式操作实现高效率。

HORIBA Auto SE椭圆偏振光谱仪产品特点：

可在450nm~1000nm波长内实现快速测量（<1秒）

多种光斑尺寸软件选择

自动装载和调整样品高度（需自动平台）

大面积自动成像（需自动平台）

温控台、液体样品池、电化学反应池、

密封气体池、透过率曲线测量等多种附件

HORIBA Auto SE椭圆偏振光谱仪产品优势：

光斑可视系统：HORIBA Auto SE椭圆偏振光谱仪具备MyAutoView光斑可视系统，可清晰观察光滑或粗糙的样品表面，保证用户可将测量光斑准确定位在样品目标上的测量位置。

大样品成像选项：HORIBA Auto SE椭圆偏振光谱仪配备自动平台，方便定位测量样品上微结构的位置，可对不均匀大样品片进行mapping成像。

智能诊断：HORIBA Auto SE椭圆偏振光谱仪仪器维护非常简单，借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理

HORIBA Auto SE椭圆偏振光谱仪产品测量原理：

HORIBA Auto SE椭偏仪是利用薄膜的光学特性进行膜厚测量的非接触测量方法。基于偏振光反射或透射时的状态变化来测量薄膜的厚度和折射率。当偏振光照射到薄膜表面时，反射光或透射光的偏振状态会发生变化，这种变化依赖于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振状态和角度。通过分析这些变化，可以准确地推导出薄膜的厚度。

椭圆偏振光谱仪

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