光学表面轮廓仪

KLA Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300光学轮廓仪的基础上，增加了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388光学轮廓仪采用ZDot技术和多模组光学系统，可测量各种不同的样品：包括透明与不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亚纳米级到毫米级的台阶高度。KLA Zeta-388光学轮廓仪支持OCR和SECS/GEM，从而可用于全自动产线的生产制造。

产品特点：

快速的非接触式三维光学轮廓仪

多模组光学系统提供3D扫描、差分干涉、薄膜厚度和自动缺陷检测

全自动测量

同时提取样品表面的真彩色信息和形貌信息

支持100至200mm的晶圆

支持OCR和SECS/GEM，适用于自动化产线的生产环境

用户界面简洁直观

主要应用：

从纳米级到毫米级的台阶高度，可用于高深宽比台阶测量

从亚纳米级至亚毫米级的表面粗糙度分析，适用于光滑表面和粗糙表面

Z向高分辨率的白光干涉测量，可用于广域台阶高度测量

移相扫描干涉技术可快速测量小于250nm的台阶高度

薄膜应力和样品翘曲测量

测量30nm到100μm透明薄膜的厚度，可提供薄膜均匀性数据和薄膜厚度分布图

自动缺陷检测，可识别横向尺寸大于1μm的缺陷

产品测量原理：

KLA Zeta-388光学轮廓仪?的原理?是通过共聚焦原理实现样品的高分辨率、高对比度的光学切片能力。它结合了传统光学显微镜和激光共聚焦显微镜的特点，利用宽谱白光作为光源，通过空间滤波机制消除离焦光干扰，从而获得高精度的三维图像。

光学表面轮廓仪

http://www.unicorntec.cn/Products-32429795.html

https://www.chem17.com/st324987/product_32429795.html

原文链接：http://www.dtcchina.com/caigou/show-24544.html，转载和复制请保留此链接。
以上就是关于光学表面轮廓仪全部的内容，关注我们，带您了解更多相关内容。