白光显微干涉仪

 　　VK-X3000创新点：①扫描方式升级：上一代VK-X1000系列有两种扫描方式（聚焦变化、激光共聚焦），新一代VK-X3000系列升级为三种扫描方式（聚焦变化、激光共聚焦、白光干涉），可以根据样品工件的材料、形状和测量范围选择适合的扫描方式，进行高精度测量。扫描方式升级，最高分辨率由以前的0.5nm提升至0.01nm，微小形状也能准确获取，支持难以扫描的透明体和镜面体。②配件升级：VK-X1000系列配备的是0.5nm线性标尺，VK-X3000系列升级为0.1nm线性标尺。配备高精度线性标尺，以0.1nm的高分辨率识别物镜的Z位置，从而实现更加细微的凹凸检测。③增加CAD比较测量功能。